光干涉甲烷測定器兩相干光經過不同的氣體時，由于密度不同，折射率也不同，因而產生光程差。當兩光束相遇的時候，光程差決定干涉條紋的移動，條紋移動量隨氣體密度變化而改變，氣體折射率的差值也隨之改變。當混合氣體成分比例變化即成分氣體濃度變化時，其密度也會改變，從而可從干涉條紋的移動判斷氣體的成分(濃度)。
光干涉甲烷測定器的校準是指在規定條件下，對儀器量值與對應標準量值進行復現操作的過程。檢定是指依據檢定規程對儀器計量性能進行判定的一系列工作;檢定比校準要求高，一般由有資質的計量部門進行。

實際應用中對光干涉甲烷測定器的日常校準采用壓力校準法和標準氣樣校準法。
①壓力校準法。
其原理是：一定濃度的甲烷氣體折射率對應一定溫度條件下對應壓力的空氣折射率，利用外接加壓裝置對甲烷氣室進行加壓至相對應的壓力，讀出儀器示值，看是否在誤差范圍內來判定儀器的準確性。不同溫度下對應的壓力按照溫度為20℃時的壓力進行折算。
②標準氣樣校準法。
這是用標準氣樣對光干涉甲烷測定器進行比對的校準方法。校準時特別要注意檢測儀器吸氣取樣完畢后及時和有壓力的氣體源分離，以避免因壓力存在造成誤差，同時注意溫度修正，以確保校準準確性。校準狀態下標準氣樣濃度與對應儀器應得讀數關系可用公式計算。